个人简历

个人简介

2019至今 北京理工大学机械与车辆学院 助理教授/特别副研究员
2015-2018 清华大学 机械工程系 博士后（助理研究员）
2010-2015 清华大学 机械工程系 博士研究生
2006-2010 北京科技大学 自动化 本科

研究方向： 摩擦学，微纳制造，化学机械平坦化在线检测

近期论文

代表性论文
[1] Li HK, Zhao Q, Lu XC, Luo JB, “Signal processing and analysis for copper layer thickness measurement within a large variation range in the CMP process,” REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. 88(11), 2017.
[2] Li HK, Lu XC, Luo JB, \