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张大成
2023-05-06 08:52
  • 张大成
  • 张大成 - 教授-北京大学-信息科学技术研究所-个人资料

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资料介绍

个人简历


1984年北京工业大学半导体器件专业学士,2000年和2005年分别在北京大学获微电子学与固体电子学硕士和博士学位。

研究领域


微纳加工工艺及工艺质量评估方法、MEMS传感器芯片、工艺相关微纳结构力学特性表征方法

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