个人简历

北京大学微电子学研究院教授，“微米纳米加工技术国家级重点实验室”学术委员会副主任。1992年毕业于北京大学微电子专业，1997年在北京大学获微电子学与固体电子学博士学位，同年留校工作。2000年到2004年在美国加州大学戴维斯分校和美国康奈尔大学做访问学者。2004年7月返回北大，继续从事科研和教学工作。期间一直从事MEMS/NEMS理论、设计和加工方面的研究，目前重点专注生物MEMS和微流控系统在生物医疗方面的应用。作为项目负责人主持国家“863”、国家自然科学基金等科研项目10余项，在ACS Nano, Lab Chip, Anal. Chem., JMEMS等本领域高水平学术期刊和IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS等MEMS领域顶级国际学术会议上发表论文200余篇，其中SCI文章100余篇，做国际会议邀请报告10余次，申请和授权专利24项（授权16项），为5本书籍撰写章节。担任IEEE MEMS、Transducers和IEEE Sensors等国际会议程序委员会委员。

研究领域

""微机电系统（MEMS）"""主要从事微电子机械系统(MEMS)研究，包括器件及系统设计、加工技术及模型模拟。研究领域包括生物MEMS，RF MEMS等，并且积极的推动国内MEMS产业发展。"

近期论文