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刘鹏
2023-05-05 16:13
  • 刘鹏
  • 刘鹏 - 工程师-北京大学-信息科学技术研究所-个人资料

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资料介绍

个人简历


刘鹏,男,1981年出生,硕士。2007年起,专业从事微电子加工工艺研究,主要研究方向是基于电子束光刻工艺的纳尺度图形化技术,和基于高密度等离子体干法刻蚀工艺的纳尺度图形转移技术

研究领域


主要研究成果:开发大高宽比纳米结构无硬掩膜制造技术

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