个人简历

教育背景
1999.9~2003.7天津大学电子科学与技术系学士学位（管理学院技术经济-双学位）
2003.9~2008.7中国科学院微电子研究所获工学博士学位
工作简历
2008.9~至今中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室副研究员
2008.1~2011.3北方微电子公司产品经理，负责300mm等离子体刻蚀机设备研发和工艺开发

研究领域

半导体等离子体制造技术和设备开发；太阳能电池制造技术及其设备技术开发