个人简历

留学经历：
2004年完成科研政策和管理德国班培训。
工作经历：
1983-1987年在江西师范大学任教，负责近代物理实验室建设和教学工作。90-94年在北京航空材料研究院工作，从事快速凝固铝合金、金属基复合材料研制工作。98年至今，在中科院微电子研制所工作，从事超大规模集成电路研究，研究员，博士生导师。2002年兼任科技处处长，负责微电子所科研、开发和质量管理，2004年兼任所长助理。2002-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家，2002-2004年曾任国家973咨询专家组专家（已换届），中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长

研究领域

微电子工艺及装备