刘敬远
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资料介绍
个人简历
2010年4月 ~ 2011年3月 国立东京农工大学工学府•工学部,机械系统工学科,特任助教授 2009年10月 ~ 2010年3月 国立东京农工大学,大学院技术经营研究科,产学官连携研究员2001年8月 ~ 2009年7月 大连理工大学,机械工程学院,机械制造及其自动化专业(硕博连读),博士研究领域
1、特种加工及精密与超精密加工技术2、过程检测与控制技术近期论文
1. J.Y. Liu, D.M. Guo, Z.J. Jin and R.K. Kang. A Suspending Abrasives and Porous Pad Model for the Analysis of Lubrication in Chemical Mechanical Polishing, Key Engineering Materials, Vol. 315-316(2006), pp 775-778. (SCI收录、EI收录) 2. J.Y. Liu, Z.J. Jin, D.M. Guo and R.K. Kang. Effects of suspending abrasives on the lubrication properties of slurry in chemical mechanical polishing of silicon wafer, Key Engineering Materials, Vol. 304-305(2006), pp 359-363. (SCI收录、EI收录).3. Dongming Guo, Jingyuan Liu, Renke Kang and Zhuji Jin. A Pad Roughness Model for the Analysis of Lubrication in Chemical Mechanical Polishing of Silicon Wafer, Semiconductor Science and Technology, Vol. 22(2007), pp 793-797.(Impact Factor: 1.899 (2007)) (SCI收录,EI收录). 相关热点