个人简历

教授，工学博士。
中国计量学会真空计量专委会委员
教育经历

1992.09-1996.07:合肥工业大学真空技术及设备专业本科
1996.09-1999.05:合肥工业大学流体机械工程（真空）专业硕士
2001.09-2005.06:中国科学技术大学国家同步辐射实验室博士
工作经历
2005.08-2006.08:英国卢瑟福国家实验室访问学者
2005.12-2010.12:合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授
2010.12至今合肥工业大学机械与汽车工程学院教授
（2016.09-2017.09:美国密歇根大学安娜堡分校访问学者）开设课程
本科生课程：真空物理，微纳系统及加工；研究生课程：超高真空物理
近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖
主持或完成国家自然基金面上项目、国防基础科研重大项目、科技部863项目等十余项，参加国家重大专项、欧共体、英国EPSRC项目等五项。近年来指导研究生四人次获得“中国真空学会优秀硕士生奖学金”，八人次获得“研究生国家奖学金”。在J.Mater.Chem.、MicroelectEng、J.Vac.Sci.Tech.A&B、Vacuum等国内外著名学术期刊发表论文30余篇，授权发明专利十余项。
•国家自然科学基金面上项目：广域克努增数下纳流控通道型流导元件气体传输多重机理(No.61871172)2019-2022
•国家02专项（极大规模集成电路制造技术及成套工艺）项目：气体高灵敏度检测技术
•国家自然科学基金面上项目：聚合物纳流控通道的溶剂蒸发辅助自封闭机理研究(No.61574053)2016-2019
•国防技术基础科研重大项目：气体微流量测量技术2017-2019
•深空探测专项项目：发射及再入过程中航天器内部压力变化仿真及控制分析2017-2018
•航天CAST基金项目：空间站舱外管道泄漏在轨监测技术研究2017-2018
•电子集团标志性技术项目：漏率测试新方法研究2016-2017
•航天CAST基金项目：特种真空检漏装置内气体分子的空间输运特性研究2016-2017
•863探索导向类项目(No.2008AA04Z303)：基于紫外压印技术的自支撑SU-8胶纳米流体系统2008-2011

研究领域

主要研究方向
1、微纳制造技术与应用：面向信息、显示和新能源器件应用，研究大面积微纳结构复制转移的关键理论、技术及其方法。
2、真空检测与计量技术：纳流控通道等新型超高真空计量器具的可控制作技术及其表征、压强动态测试新原理、漏率测试方法及其系统等

近期论文

•BiaoJiang,XudiWang*etal,Newleakelementusing1Dnanofluidicchannelsandindiumsealing,Vacuum156(2018)55–58
•BenmengWei,XudiWang*etal,Fabricationofconductance-controllablestandardleakelementsonanodicaluminumoxideusingaselectivecoatingmethod.J.Vac.Sci.Technol.B,35(4):040601(2017)
•AiqingZhu,XudiWang*etal,Newleakassemblybasedonfluidicnanochannels,J.Vac.Sci.Technol.A34,050604(2016)
•YonghengZhao,YongjunCheng,XudiWang*,Newleakelementusinganodicaluminumoxide,Vacuum131(2016)111-114
•Zheng,Dingjie,Dong,Dong,Wang,Xudi*,Nanopatterningusingasimplebilayerlift-offprocessbytransferprintingbasedonpoly(dimethylsiloxane)templates,MicroandNanoLetters,2015(11),p633-636

•DongDong,WeiWei,DanYang,XudiWang*,Heliumgaspermeabilitymeasurementsofpolymericmembranesusingthedifferencemethod,Vacuum121(2015)173-176

•Li,Xiaojun,Wang,Xudi*,etal,Fabricationofsize-controllablenanofluidicchannelsusingangledphysicalvapordeposition,MicroelectronicEngineering,2012,98:647-650

•Zhang,Yuping,Wang,Xudi,etal,Alignedultralongnanowirearraysandtheirapplicationinflexiblephotodetectordevices,JournalofMaterialsChemistry,2012,22(29):14357-14362

•XiaojunLi,YongChen,KeqiangQiu*,XudiWang*,Multiplecentimetre-longfluidic-channelswithsmoothandverticalsidewallfabricatedbynovelNILmouldandthermalbonding,MicroelectronicEngineering,2012,98(10):720-724
•X.Wang,J.Jin,X.Lietal,Low-pressurethermalbonding,MicroelectronEng.88(2011)2427–2430
•X.Li,X.Wang*,etal,Fabricationofmicro/nanofluidicsystemcombininghybridmask-mouldlithographywiththermalbonding,MicroelectronEng87(2010),722-725

•X.Wang,L.Ge,J.Lu,S.Fu,ZCui.FabricationofEnclosedNanofluidicchannelsbyUVcuredimprintingandthermalbondingofSU-8Photoresist.MicroelectronEng.86(2009),1347-1349

•X.Wang,YifangChen,LingWangandZhengCui.FabricationofnanoimprinttemplateinSiwithhighetchratebynon-switchDRIEprocess.MicroelectronEng.85(2008),1015-1017

•X.Wang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.Free-standingSU-8subwavelengthgratingsfabricatedbyUVcuringimprint.MicroelectronEng.85(2008),910-913

•X.wang,Y.liu,X.Xu,S.Fu,ZCui.ReactiveionbeametchingofHfO2filmandremovalofsidewallredeposition.J.Vac.Sci.Technol.A,24(4):1067-1072JUL-AUG2006

•XWang,Y.Chen,S.Fu,ZCui.HighdensitypatternsfabricatedinSU-8byUVcuringnanoimprint;MicroelectronEng.,84(2007),872-876

•ZCui,X.Wang,YLi,GYTian,Highsensitivemagneticallyactuatedmicromirrorsformagneticfieldmeasurement.SensorsandActuatorsA138(2007)145–150