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蔡燕民
2023-05-18 15:52
科教人文
  • 蔡燕民

  • 蔡燕民 - 副研究员 硕导-中国科学院上海光学精密机械研究所-信息光学与光电技术实验室（信光）-个人资料

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资料介绍

个人简历


招生专业
080300-光学工程
招生方向
光学工程（光学设计与光学工艺）
教育背景
1999-04--2002-04中科院上海光学精密机械研究所博士
1996-09--1999-03长春光学精密机械学院硕士
1990-09--1994-06长春光学精密机械学院学士
工作简历
2011-11~现在,中科院上海光学精密机械研究所,副研究员
2010-06~2011-10,芯硕半导体有限公司研发中心,项目兼部门经理
2004-04~2010-05,上海微电子装备有限公司,高级工程师
2002-05~2004-03,中科院上海微系统研究所,助理研究员
1994-07~1996-08,东北机器制造总厂,助理工程师
奖励信息
（1）上海市浦东新区政府浦东新区专利工作优秀个人奖,,省级,2010
（2）上海微电子装备公司（国家光刻设备研发中心）专利成就奖,,研究所（学校）,2010

近期论文


（1）共轭距可变的光刻投影物镜光学设计,OpticalDesignofLithographyProjectiveLenswithVariableTotalTrack,中国激光,2014,第1作者
（2）用于ArF光刻机偏振照明系统的沃拉斯顿棱镜的设计,DesignofWollastonPrismUsedforPolarizationIlluminationSysteminArFLithographyTool,中国激光,2014,第1作者

标签： 信息光学与光电技术实验室（信光） 中国科学院上海光学精密机械研究所

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