个人简历

招生方向
微纳电工技术研究
教育背景
学历
清华大学 20000401--20020501 研究生毕业
学位
清华大学 20000401--20020501 理学博士学位
工作简历
微纳加工技术研究部主任、电工所所长助理

科研项目
2005年作为主要承担人承担自然科学基金重点系统——纳米分辨率活细胞扫描探针原位实时显微观测系统的研究；同年作为负责人之一，圆满完成中国科学院重大项目——纳米级电子束曝光系统实用化研究；当年，作为负责人圆满完成承担科学院仪器改造项目——高压纳米级电子束曝光系统；2006年作为项目负责人，承担中国科学院科技助残项目——盲文印刷系统的开发工作。

研究领域

"长期从事微米/纳米加工和测量研究，电子束曝光设备的研制和高压电子束曝光特性的研究。主要研究工作领域包括：纳米加工技术、表面分析、仪器设备（包括生命科学仪器）、表面物理。"