个人简历

2000/07-2004/09　　武汉化工学院材料物理专业学士学位\r
2004/09-2007/07　　武汉工程大学材料学院材料学专业硕士研究生\r
2007/09-2010/6　　　中国科学院微电子所微电子学与固体电子学博士研究生\r
2010/12-2013/03　　浙江大学电气工程学院博士后\r
2013/04-2018/11　　中国科学院微电子研究所微电子仪器与设备工程中心副研究员\r
2018/12-至今　　　　　中国计量大学计量测试工程学院副研究员 \r
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在研课题\r
1、等离子体自动控制系统研发（企业项目）\r
2、半导体纳米光学/光电材料成膜（企业项目）\r
3、半导体高性能原子层沉积系统研发（企业项目）\r
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获奖情况\r
1、原子层沉积系统的开发与应用，中国电子学会科技奖一等奖，省部级，2017，排名第5\r
2、原子层沉积系统的开发与应用，北京市科学技术奖三等奖，省部级，2017年，排名第5\r
3、集成电路科教设备研发和科教融合模式创新与实践，中国科学院教育教学成果特等奖，部委级，2016年，排名第5\r
4、原子层沉积系统及工艺，第二十届全国发明展金奖，2011年，排名第5\r
5、2009-2010年度获中国科学院研究生院“三好学生”\r
6、获中国科学院微电子研究所优秀研究生奖学金，2009年

研究领域

""原子层沉积仪器 低温等离子体技术 """"

近期论文

1、等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究,　真空科学与技术学报.　2014,　34（2）:　192-196\r
2、Reflection　of　electromagnetic　wave　using　a　plasma　sheet,　IEEE　Trans.　Plasma　Sci.,　2010,　38(8),　2006-2009\r
3、Plasma-induced　direct　graft　on　polytetrafluoroethylene　films　by　quasi-glow　discharge　at　atmospheric　pressure,　Plasma　Processes　and　Polymers,　2009,　6(12):825-830\r
4、In-Situ　nitrogen　doping　of　the　TiO2　photocatalyst　deposited　by　PEALD　for　visible　light　activity,　Plasma　Science　and　Technology,　2014,　16(3):239-243\r
5、Dehydroxylation　action　on　surface　of　TiO2　films　restrained　by　nitrogen　carrier　gas　during　atomic　layer　deposition　process,　Rare　Metals，　2014,　33（5）:583-586