个人简历

校內榮譽

2016 傑出產學研究獎 國立清華大學
2015 傑出產學獎 國立清華大學工學院
2011 傑出產學合作獎 國立清華大學
2011 傑出產學合作獎 國立清華大學工學院

校外榮譽

2015 IEEE Fellow IEEE (美國電機電子工程學會)
2015 MEMS Industry Contribution Award SEMI
2015 科技部104年度傑出研究獎 科技部
2015 績效卓著獎，MG+4C 產學計畫 (與原相科技和京元電子) 智慧電子國家型科技計畫
2012 IoP (Institute of Physics) Fellow IoP (英國物理學會)
2012 國科會101年度傑出研究獎 國科會
2011 微奈米科技獎章 中華民國奈微系統科技協會
2010 Outstanding MEMS Academic Award SEMI
2009 科技部98年度傑出研究獎 國科會
2009 -目前 常務理事 中華民國奈微系統科技協會
2007-2013 技術及國際委員會主委 中華民國奈微系統科技協會

研究领域

1. 微機電系統 (MEMS)
2. 微感測器
3. 微致動器
4. 微加工技術
5. 微元件與系統測試技術
6. 薄膜機械性質量測技術""
Transducers Conference International Steering Committee Chair 2017-目前
國立清華大學 講座教授 2016-目前
Sensors and Actuators A Editor 2014-目前
J. of Micromech. Microeng. Chief Editor 2014-目前
Sensors and Actuators A Editor 2014-目前
SEMI Taiwan Vice Chair MEMS and Sensor Committee 2014-目前
微感測器與致動器產學聯盟 主持人 2013-目前
中華民國奈微系統科技學會 常務理事 2009-目前
中華民國奈微系統科技學會 理事長 2013-2014
國立清華大學 特聘教授 2012
IEEE Sensors Conference Technical Program Chair 2012
The World Micromachine Summit Chair 2012
IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Editorial Board 2011-目前
IEEE Sensors Journal Associate Editor 2010-目前
SEMI Taiwan Committee MEMS Committee 2010-2014
The World Micromachine Summit Chief Delegate of Taiwan 2008-2012
中華民國奈微系統科技學會 技術及國際委員會主任委員 2007-2013

學術經歷

國際期刊 (SCI)
J. of Micromechanics and Microeng. Editor in Chief 2014-目前
Sensors and Actuators A Associate Editor 2014-目前
Sensors and Materials Associate Editor 2014-目前
IEEE Trans. on Device and Materials Reliability Editorial Board 2010-目前
IEEE Sensors Journal Associate Editor 2010-目前
J. of Micromechanics and Microeng. Editorial Board 2005-2014
J. of Micro-Nanolithography, MEMS and MOEMS Associate Editor 2010-2015
IEEE Sensors Journal (Special issue) Lead Guest Editor 2012
IEEE Sensors Journal (Special issue) Guest Editor 2011
Transducers Conf. General Chair 2017
Transducers Conf. International Steering Committee 2009-目前
Transducers Conf. Best Paper Award Committee 2015
IEEE Sensors Conf. Technical Program Committee Chair 2012
IEEE NEMS Conf. Technical Program Committee Chair 2011
IEEE Sensors Conf. Asia Technical Program Committee Chair 2010
IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2010
Transducers Conf. Executive Technical Program Committee 2009-2015
Transducers Conf. Best Paper Award Committee 2009
The APCOT (Asia Pacific Conf. on Transducers) Steering Committee 2008-2016
Transducers Conf. Technical Program Committee 2007
IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2007
The MNC (Intl Microprocesses and Nanotech. Conf.) Program Committee 2005-2015
IEEE MEMS Conf. Technical Program Committee 2004

IEEE R. Noyce Medal Committee Committee Member 2015-目前
The International Tech. Roadmap of Semiconductor (ITRS) MEMS Committee 2011-目前
Kyoto Prize Nominator 2013, 2016