个人简历

1954年7月出生，1977年毕业于上海交通大学，长期以来从事微光机电系统、微纳制造技术及薄膜电子材料的研究。先后主持或参与完成十多项科研项目，主要有：国家计委“九五”攻关项目“实用电磁型微马达关键技术研究”，国家务“863” 计划“直径 2mm 电磁型微马达实用化研究”、国家自然科学基金“ PMMA 反应离子深刻蚀及其侧壁钝化技术研究”、国防科工委“直径 1mm 微电机制造技术研究”、“微直升飞机研究”、国家“973”计划子项目“集成微光机电系统材料机械性能研究”、上海市科委纳米专项“基于纳米介电薄膜的高性能 RF 开关研究”等。其中“实用电磁型微马达关键技术研究”1999年获国家教育部科技进步（发明类）一等奖、2000年获国家技术发明二等奖，发表论文四十多篇，申请专利多项，参与编写专著“微光机电系统及相关技术”。

研究领域

微细加工技术 微光机电系统，微传感器及微执行器