个人简历

刘武，博士，2009年毕业于上海交通大学，获微电子与固体电子学博士学位，现为上海交通大学微纳电子学系助理研究员，硕士生导师。目前主要从事微剪应力传感器阵列、固体波动微陀螺、仿生微飞行器、悬浮式微陀螺/加速度计、柔性MEMS等MEMS器件及系统的的设计、微制造、检测控制电路及集成等研究工作。作为项目负责人正在主持国家实验室开放基金、上海市自然科学基金、航空基金等国家级和省部级项目。作为主要成员或负责人完成了包括国家“973”计划项目、国家自然科学基金、国防预研基金、装备预研教育部联合基金、国防预研重点实验室基金、航天支撑项目等多项国家级和省部级科研任务。在国内外学术期刊或会议上发表论文四十余篇，授权发明专利二十余项。作为第10完成人，参与的《高性能压电微器件及其应用》研究成果获得上海市技术发明一等奖（2013）。

研究领域

1、仿生纤毛微传感器2、微惯性传感器3、微飞行器

近期论文

1、Jian Tang, Weiping Zhang*, Wu Liu*, Honghai Chen and Yongming Sun.Research on a micromachined flexible hot-wire sensor array for underwater wall shear stress measurement. Microsystem Technologies, 2016, DOI: 10.1007/s00542-016-3110-1. 2、Jian Tang, Weiping Zhang*, Yuxiang Cheng, Wu Liu*, Yinghai Wang and Dianjun Sun. Miniature hemispherical shell resonator with large-scale effective electrodes based on piezoelectric drive mechanism. Review of Scientific Instruments, 2016,87(5): 055004. 3、Jian Tang, Wu Liu*, Weiping Zhang*, Yongming Sun and Honghai Chen. An integrated temperature-compensated flexible shear-stress sensor microarray with concentrated leading-wire，Review of Scientific Instruments，2016，87（2）： 4、Cheng Yuxiang，Zhang Weiping*，Tang Jian， Liu Wu*, Wang Yinghai，Chen Wenyuan. Research on a Micro Piezoelectric Gyroscope with Concentrated Rocking-Mass，International Journal of Applied Ceramic Technology，2015，12：E208-E214. 5、王文君，刘武*，张卫平，陈文元，杨春生，崔峰，吴校生，柔性微热剪切应力传感器阵列，上海交通大学学报，2012，（06）：984-988+998 6、Cui F., Liu W., Chen W.Y., Zhang W.P., Wu X.S. Hybrid microfabrication and 5-DOF levitation of micromachined electrostatically suspended gyroscope. Electronics Letters, 2011, Vol. 47, No. 17, pp. 976-977. 7、Cui Feng, Liu Wu, Chen Wenyuan, et al. Design, Fabrication and Levitation Experiment of a Micromachined Electrostatically Suspended Six-axis Accelerometer. Sensors, 2011, 11(12): 11206-11234.