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戴旭涵
2023-05-12 21:22
  • 戴旭涵
  • 戴旭涵 - 副教授-上海交通大学-微纳电子学系-个人资料

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资料介绍

个人简历


1990.9 ~ 1994.7 燕山大学机械工程系流体传动及控制专业 本科 1994.9 ~ 1997.2 浙江大学机械工程系流体传动及控制专业 工学硕士 1997.2 ~ 2000.6 浙江大学光电工程系测试计量技术及仪器专业 工学博士 2000.9 ~ 2002.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院 博士后 2002.9 至今 上海交通大学微纳科学技术研究院 副教授

研究领域


电磁驱动 MEMS 器件 光学 MEMS 器件及其微细加工方法

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