个人简历

个人简介：
2008年获中科院上海光机所光学工程博士学位，2008年-2017年在上海微电子装备有限公司工作，2017年进入复旦大学工研院，作为负责人成功研制“0.15nm测量分辨率的双频激光干涉仪”产品，年产值三千多万元，成功应用于光刻机、超精密位移检测等领域，具有丰富的产品开发及工程经验。发表论文18篇，申请专利24项，授权专利9项，参与编写《光子学技术与应用》（第十五分篇“激光加工技术”）。
代表专利：
1.张志平，吴萍，王珍媛，张晓文，池峰，陈勇辉.双频激光器.申请号：201010619286.3
2.张志平,肖鹏飞,张晓文,池峰,陈勇辉.一种双频激光干涉仪.申请号：200910052180.7
3.张志平,肖鹏飞,张晓文,池峰,陈勇辉.一种检测反射镜入射角的装置.申请号：200920210088.4
4.张志平,程兆谷,高海军,覃兆宇.具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪.申请号:200510027682.6

研究领域

主要从事超精密光电检测技术研究及产品开发""

近期论文

代表论文：
1.张志平，程兆谷，覃兆宇，朱健强. 加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响，中国激光，2007, 34（5）
2. Zhiping Zhang, Zhaogu Cheng, Zhaoyu Qin, Jianqiang Zhu. Measuring of the maximum measurable velocity for dual-frequency laser interferometer，Chinese Optics Letters，2007, 5（4）
3. Zhiping Zhang, Zhaogu Cheng, Zhaoyu Qin, Jianqiang Zhu. Modeling and simulating of the second-order Doppler error of laser dual-frequency interferometer，Measurement Science and Technology，2007（18）
4. Zhiping Zhang, Zhaogu Cheng, Zhaoyu Qin, Jianqiang Zhu. The micro-gal absolute gravimeter based on high precision heterodyne interferometer，Chinese Optics Letters，2007, 5（6）
5. Zhiping Zhang, Zhaogu Cheng, Zhaoyu Qin, Jianqiang Zhu. The Second-order Doppler Error of Laser Dual-frequency Interferometer，LPM2007
6. Zhiping Zhang, Zhaogu Cheng, Zhaoyu Qin, Jianqiang Zhu. A novel optical subdivision method for dual-frequency interferometer, Opt. Int. J. Light Electron. Opt. 2007
7.Zhaogu Cheng, Zhiping Zhang, Jianqiang Zhu.“Self-adaptive control optical systems for long-distance flying optics” Applied Optics, 2006, 45(18)
8.Zhaogu Cheng, Zhiping Zhang，“Study on hybrid laser welding with novel self-adaptive optical device for shipbuilding applications”. LAMP2006, Invited paper. 2006, Kyoto, Japan