个人简历

个人简介
现任复旦大学工程与应用技术研究院微纳工程技术中心学术带头人，上海临港光华创新平台半导体微纳工程技术中心主任。 获美国康乃狄克大学化学与材料学科博士学位。先后担任世界500强的半导体IC先进微纳制造技术装备、材料与工艺技术公司资深研发与产业化工程实现技术科学家，国际知名集成电路制造公司技术研发与大规模生产工程实现技术资深科学家等职务。长期从事半导体集成电路器件互连线工程实现技术、半导体集成电路制造装备、材料和器件的研发和产业化的工程实现技术等，是中国半导体集成电路铜互联线技术的奠基者之一。
代表性成果
“0.13微米CMOS超大规模集成电路及铜互联微纳制造工艺研发与产业化”项目获上海市科学进步一等奖
主导国家重大专项“0.13微米CMOS超大规模集成电路及铜互联微纳制造工艺研发与产业化”项目期间担任产业化工程实现技术首席科学家
成功首次将国产PVD超高纯金属溅射靶材、高端化学机械平坦化（CMP） Ta/Cu 抛光液、光阻祛除液、大马士革Cu电镀液和高纯度WF6和NF3气体等材料应用于半导体集成电路大规模生产线，为高端新材料和设备进入主流国际半导体集成电路大规模生产线开创了可持续应用的技术路线和体系
拥有20余项国际发明专利、20篇学术论文

研究领域

机器智能控制硬件与基础软件系统、智能机器人运动行为硬实时控制、多核微处理器、AI存算一体器件设计与工程实现、新型存储材料与器件设计与工程实现。""